製品情報
フルオート多機能走査型X線光電子分光分析装置 PHI GENESIS
| 価格 | お問い合わせください |
|---|---|
| メーカー名 | アルバック・ファイ(株) |
| 製品URL | https://www.ulvac-phi.com/ja/products/ |
| 計測対象物質 | |
| アプリケーション | |
| 説明 | 自動試料交換による多試料自動分析、高感度アナライザーによる高速・高感度・微小XPS分析で強みを発揮します。様々な技術（走査型マイクロＸ線、全自動ロボティクス搬送系、絶縁物自動中和分析、クラスターイオンエッチング銃による有機物の深さ方向分析、高輝度イオンエッチング銃による無機物深さ方向分析）すべてを本装置一つに組み込み、金属、半導体、セラミックス、有機物などのあらゆる素材の最先端XPS分析を1台で実現します。さらに、従来よりも情報深さが深い、CrKα線によるHAXPES分析も可能です。
【多彩なオプション】 紫外光電子分光分析（UPS）、低エネルギー逆光電子分光分析（LEIPS）、走査型オージェ電子分光分析（AES）、反射電子エネルギー損失分光分析（REELS）、非単色化MgKα線、Arモノマー/Ar-GCIBデュアルソースイオン銃、Ar-GCIBクラスターサイズ計測器、C60イオン銃、光電子取込立体角制限アパーチャ、試料加熱冷却機構、4端子電圧印加機構、トランスファーベッセル ほか |
