近赤外分析計 FT-NIR TALYS ASP300 非接触式インラインウエットプロセスアナライザー

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メーカー名 株式会社ビジョンリンク
製品URL http://visionlink.co.jp/
計測対象物質 SC1,SC2,BOE,DHF,BHF,SPM, HF,H3PO4,H2O2,H2O,HNO3,NH4OH,TMAH,H2SO4,HCl,
アプリケーション 薬液濃度測定,FT-NIR,近赤外,プロセスモニタリング,オンライン,インライン
説明 ABB TALYS ASP300 シリーズ は、
半導体業界向け最新世代の薬液濃度測定装置です。
FT-NIR(近赤外)を使用した非破壊/非接触でのインライン薬液濃度モニターで 取り付けセンサー部(ClippIR+)を配管に挟み込むだけで測定が可能です。
シンプルな操作性で24時間365日稼働しプロセスのモニタリングが可能です。

本体特徴
■測定時間 約10秒/30秒で測定
■ソフトの載せ替えのみでハードはそのまま多種多様な薬液を測定可能

取り付けセンサー部(ClippIR+)特徴
■3/4inc. 1/2inc.配管に対応
■PFA、石英配管等 透明配管であれば非接触で濃度を測定 薬液汚染ゼロ
■既存設備にも容易に設置可能
■材質はPTFAの為、酸・アルカリ等の過酷な状況でも腐食なく使用可能
■特別な光ファイバーを使用している為、最大100m離れた場所でも測定可能
■最大温度200℃まで測定可能