製品情報
原子間力顕微鏡（AFM）Park FX300
| 価格 | お問い合わせください。 |
|---|---|
| メーカー名 | パーク・システムズ・ジャパン(株) |
| 製品URL | https://www.parksystems.com/jp/products/research-afm/large-sample-afm/fx300 |
| 計測対象物質 | |
| アプリケーション | |
| 説明 | 最大300mmの大型試料に対応する、原子間力顕微鏡（AFM）ソリューションです。低ノイズフロア、熱ドリフトの最小化、および高い機械的安定性を備えることで、ナノスケールにおける高精度かつ高い再現性の測定を実現します。
直交型スキャンシステムおよびTrue Non-Contact™モードを搭載し、試料へのダメージを抑制しながら高分解能イメージングを可能にします。これにより、繊細な試料に対しても安定した測定と高い信頼性を確保します。
自動プローブ交換やレーザービームアライメント機能に加え、自動スキャンパラメーター設定、複数ポイントでの連続測定、データ解析機能などを統合し、測定プロセスの自動化と効率化を実現します。これにより、オペレーションの簡素化と生産性の向上に貢献します。
高度な性能と直感的な操作性を兼ね備え、研究開発から産業用途まで幅広い分野において、ナノスケールのイメージングおよび解析に対応する汎用性の高いプラットフォームです。
・最大300㎜のウェハーに対応 ・XY、Zスキャナ完全独立機構 ・クローズドループ XY スキャナ：100 µm × 100 µm ・Zスキャナ：15µm ・自動プローブ交換、自動プローブ認識、自動レーザーアライメント |