製品情報
原子間力顕微鏡（AFM）Park FX200
| 価格 | お問い合わせください。 |
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| メーカー名 | パーク・システムズ・ジャパン(株) |
| 製品URL | https://www.parksystems.com/jp/products/research-afm/large-sample-afm/fx200 |
| 計測対象物質 | |
| アプリケーション | |
| 説明 | ２００㎜の大型試料に対応した最先端原子間力顕微鏡です。ノイズフロアを劇的に低減し、熱ドリフトを最小限に抑える機械構造を備え、卓越した安定性を提供します。高速なZサーボ性能と改善されたハイパワーサンプルビューにより、作業効率とイメージング能力が向上しました。プローブ認識から交換、レーザービームアライメントまでの全てが自動化され、200mmサンプルの全領域が観察できるマクロ光学系などの機能により、生産性が最大限に向上します。光学式オートフォーカス、ナビゲーション、複数の座標での連続測定、自動AFMスキャンパラメーター設定、自動データ解析など、複雑な操作を簡素化する機能を多数搭載しております。
・最大200㎜のウェハに対応 ・XY、Zスキャナ完全独立機構 ・クローズドループ XY スキャナ：100 µm × 100 µm ・Zスキャナ：15µm ・自動プローブ交換、自動プローブ認識、自動レーザーアライメント |
