製品情報
超高分解能ショットキー走査電子顕微鏡SU8700
| 価格 | 価格はお問い合わせください。 |
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| メーカー名 | (株)日立ハイテク |
| 製品URL | https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/products/microscopes/sem-tem-stem/fe-sem/su8700.html |
| 計測対象物質 | 固体、材料、半導体、電池 |
| アプリケーション | 表面、観察、解析 |
| 説明 | 観察自動化を支援する高分解能分析SEM 高輝度ショットキーエミッター搭載により、極低加速観察から大電流による高速分析までを実現します。 低真空モードでの観察も可能な、対象試料と観察手法を拡張するFE-SEMです。 【特長】 ● 低加速超高分解能性能(0.9 nm@1 kV) ● WD=6 mmでのEDS測定が可能。分析の空間分解能を向上させます。 ● 最大40,960 x 30,720 pixelまでの高解像度データを取得可能* ● 最大6チャンネルの信号を同時取り込み可能 ● ワークフローに応じた自動撮影を支援するソフトウェア”EM Flow Creator”を搭載可能* 【仕様】 分解能：0.8 nm (15 kV), 0.9 nm (1 kV) 倍率： x20 ～ x2,000,000（写真倍率） 低真空モード： 5～300 Pa ＊ オプション |
