製品情報

超高分解能電界放出型走査電子顕微鏡SU8600

価格 価格はお問い合わせください。
メーカー名 (株)日立ハイテク
製品URL https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/products/microscopes/sem-tem-stem/fe-sem/su8600.html
計測対象物質 固体、材料、半導体、電池
アプリケーション 表面、観察、解析
説明 SU8600 は高空間分解能と多様な信号検出による観察能力で、デバイスや材料の解析からライフサイエンスまで幅広い分野での観察・分析業務をサポートします。
高輝度コールドFE電子銃と検出信号制御機能により、高コントラスト像を高い分解能で提供します。
光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。
*装置写真はオプション付属の状態です。

【特長】
● 低エネルギー観察条件での超高分解能像
● 高コントラストの低加速反射電子像
● 高速応答性反射電子検出
● スループット向上を支援する自動化機能搭載
● ワークフローに応じた自動撮影を支援するソフトウェア”EM Flow
Creator”を搭載可能*

【仕様】
分解能:0.6 nm (15 kV), 0.7 nm(1 kV)
倍率: x20 ~ x2,000,000(写真倍率)

* オプション