製品情報
原子間力顕微鏡(AFM）Park NX-3DM
| 価格 | お問い合わせください |
|---|---|
| メーカー名 | パーク・システムズ・ジャパン(株) |
| 製品URL | https://www.parksystems.com/jp/products/in-line-metrology-afm/wafer-fabrications/nx-3dm |
| 計測対象物質 | |
| アプリケーション | |
| 説明 | ウエハ製造に不可欠な高分解能3Dメトロロジーのための全自動産業用AFMシステムPark NX-3DMは、オーバーハングプロファイル、高解像度側壁イメージング、および高精度での角度測定用に設計された完全自動AFMシステムです。Zヘッドのユニークな傾斜構造により、通常のAFMでは計測不可能な、アンダーカットおよびオーバーハング等の構造に対応できます。試料のカットやマウント、コーティングなどといったプレパレーションは不要で、側壁のラインプロファイル、粗さ、クリティカルアングルおよびCD計測のすべてが可能です。
・ヘッド傾斜角度0°, ±19°, ±38° ・XY、Z完全分離型スキャナ ・最大300㎜ウエハ対応 |
