製品情報

走査電子顕微鏡 FlexSEM1000/FlexSEM1000Ⅱ

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メーカー名 (株)日立ハイテク
製品URL https://www.hitachi-hightech.com/jp/science/products/microscopes/electron-microscope/sem/flexsem1000.html
計測対象物質
アプリケーション
説明 「先進のSEMをよりコンパクトに」
わずか45 cm幅のコンパクト設計ながら、4.0 nmの像分解能を実現。
新開発のユーザーインターフェース、電子光学系が高性能をさらに身近にします。

◎特長
FlexSEM 1000は、新設計の電子光学系と高感度検出器により、加速電圧20 kVで像分解能 4.0 nmを実現しています。
新開発のユーザーインターフェースは、明るさやフォーカスの自動調整機能の高速化により、短時間で多彩な観察を可能にします。
また、電子顕微鏡の欠点であった視野探しの困難さを容易にする新ナビゲーション機能「SEM MAP」を搭載し直観的な視野移動を実現しています。

■卓上設置可能なコンパクトサイズ*1でありながら、分解能4.0 nmを実現
■独自の高感度二次電子、反射電子検出器、低真空検出器(UVD*2)により、低加速/低真空観察時の高画質化を実現
■ユーザーの熟練度を問わず高画質・高スループットを実現する新ユーザーインターフェース
■観察時の視野探しや試料上の位置把握をサポートする新ナビゲーション機能「SEM MAP」
■迅速な元素分析を実現する大口径(30 mm2)窒素レスEDS検出器*2
*1卓上設置時は、装置本体と電源ボックスを分離します*2オプション