製品情報
日立電界放出形透過電子顕微鏡 HF5000
| 価格 | 価格はお問い合わせください。 |
|---|---|
| メーカー名 | (株)日立ハイテク |
| 製品URL | https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/products/microscopes/sem-tem-stem/tem-stem/hf5000.html |
| 計測対象物質 | |
| アプリケーション | 観察、空間分解能、高試料傾斜・大立体角EDX |
| 説明 | 空間分解能と傾斜・分析性能を調和した、200 kV収差補正TEM/STEM 0.078 nmのSTEM空間分解能や、高試料傾斜・大立体角EDXを、シングルポールピースで実現しました。 走査透過電子顕微鏡｢HD-2700｣搭載の日立製球面収差補正器や、その自動補正機能、収差補正SEM像やシンメトリーDual SDDなどの特長を受け継ぐとともに、透過電子顕微鏡HFシリーズで培ってきた技術を結集・融合しました。 ハイエンドユーザーをはじめ幅広いユーザー向けに、サブÅレベルの空間分解能と高分析性能を、より多様な観察・分析手法とともにご提供します。 ◎特長 ■日立製照射系球面収差補正器（自動補正機能付き）を標準搭載 ■高輝度・高安定コールドFE電子銃を搭載 ■鏡体や電源等の高安定化による本体性能向上 ■収差補正SEM/STEM像同時観察と、原子分解能SE像観察 ■新型サイドエントリー試料ステージ機構、試料ホルダの採用 ■大立体角EDX*のデュアル対向配置（シンメトリーDual SDD*）に対応 ■新構造の本体エンクロジャー・カバーを採用 ■各種日立製高機能ホルダ*をラインアップ ◎仕様 ■加速電圧 200 kV、60 kV* ■像分解能 STEM 0.078 nm（ADF-STEM像） TEM 0.102 nm（格子像） ■倍率 STEM ×20～×8,000,000 TEM ×100～×1,500,000 *オプション |
