オスミウムコーティングシステム Tennant20

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メーカー名 メイワフォーシス(株)
製品URL https://meiwanet.co.jp/products/tennant20/
計測対象物質 半導体、シリコン、結晶、金属、樹脂、ポリマー、高分子、紛体、フィルター、ガラス、有機物、生体材料、粒子、多孔質、岩石 、SiO2、繊維、燃料電池、MEMS、電極、酸化物、ウイルス、細胞、昆虫、植物、
アプリケーション 電子顕微鏡、SEM、TEM、元素分析、EDX、AES、XPS、FIB、FIB-SEM、EBSD、前処理、薄膜、チャージアップ、帯電防止、スパッタコーター、カーボンコーター、FE-SEM、AFM
説明 発熱・チャージアップの無い極薄膜コートを実現

●プラズマCVD方式によるコーティングで、
回り込み良くチャージアップの無い極薄膜を形成
試料ステージ全域で均一に、再現性高くコーティング
1nm以下の極薄膜成膜で、EDS、AES、XPS、EPMA、EBSDなどの前処理に最適
●発熱の無いコーティング方法で、生体や繊維試料も熱ダメージはゼロ