製品情報

GED 気体中金属微粒子導入システム

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メーカー名 (株)イアス
製品URL https://iasinc.jp
計測対象物質 ガス中,微量金属不純物,ICP-MS,微粒子,大気中,排ガス,タバコ,半導体,リアルタイムモニタリング,
アプリケーション 各種ガス中の微量金属不純物分析,大気中の金属微粒子の連続リアルタイムモニタリング
説明 ICP-MSやICP-OESの試料導入系として用いられ、各種ガス中に
含まれる金属微粒子を直接分析することができるシステムです。


各種ガスはGEDによりArガスに置換されますが、金属微粒子は置換
されずにArガス中の微粒子として、GEDからプラズマに導入され分析
されます。
ガスを直接ICPに導入することにより、前処理を用いる従来の方法に
比べて、約1,000倍高感度に金属成分の分析が可能です。

<GEDを用いた分析例>
環境:大気中の粒子状Hg、およびガス状Hgのリアルタイム
    オンライン分析
地質:大気環境下でのレーザーアブレーションを用いたサンプリング分析
半導体:一般ガス(N2, O2, CO2等)および特殊ガス
     (例:NH3, HCl, NF3, CH3F等)中の極微量金属の直接分析
     クリーンルームの環境測定
自動車:排気ガス中およびブレーキパッドからの発塵等の分析
たばこ:燃焼煙中微量金属の直接分析