製品情報
フォトルミネッセンスマッピングシステム PLATOシリーズ
| 価格 | お問い合わせください |
|---|---|
| メーカー名 | 株式会社堀場エステック |
| 製品URL | https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/products/automated-system/ |
| 計測対象物質 | GaN,SiC,InP,GaAs,InGaAs,InGaAsP,Ga2O3,Al2O |
| アプリケーション | フォトルミネッセンス,PL,TRPL,キャリア寿命,イエロールミネッセンス,黄色発光,膜厚,反り |
| 説明 | 本製品はパワーデバイス向けで注目されているSiC、GaNやレーザーダイオード向けのInP、GaAsで使用可能な欠陥検査装置です。測定対象である、ピーク波長、ピーク強度や半値幅等に加え、ウェハ反りや膜厚等の自動マッピングも可能な装置です。ウェハサイズ12inchまで対応可能で、大口径化に応えるラインナップ、量産要求への自動搬送対応仕様もございます。顕微PLで数µmレベルの微小欠陥の測定・マッピングも可能で、量産・R&Dフェーズでの品質向上に向けて寄与いたします。 ■測定項目：PW、PI、II、FWHM、AI含有量、膜厚、ウェハ反り ■ウェハサイズ：2-8inch、8-12inch ■FOUP、SMIF、オープンカセット対応 ■SECS/GEMによるHost通信 |
