製品情報
微細形状測定機(膜厚・段差計) ET200A
| 価格 | お問い合わせ下さい |
|---|---|
| メーカー名 | (株)小坂研究所 |
| 製品URL | https://www.kosakalab.co.jp/product/precision/minute/ |
| 計測対象物質 | 液晶, 有機EL, カラーフィルタ, レジスト, 酸化膜, 有機膜, ITO, 薄膜, 段差, 厚み, シリコン, Si, SiC, GaN, 窒化ガリウム, エピ, EL素子, バンプ, |
| アプリケーション | 半導体、液晶、有機EL、タブレット、スマートフォンのパネル周辺の有機薄膜の段差・厚みを測定, 機能性フィルムやFPCケーブルの性状測定, 高密度エネルギー・車載・センサー・2次電池分野の膜厚測定 |
| 説明 | 【特長】 膜厚・段差測定、うねり・そり測定に最適 高精度/高分解能/優れた安定性/唯一の国産測定機 唯一の真直度精度保証。独自技術の直動式検出器 微少測定力で軟質試料面の測定も可能 ※3次元表面性状、Y軸の電動化、微小角度測定等は御相談ください 【主仕様】 ・触針先端半径 ：標準 2µmR～ ・測定力（針圧）：1mg ～50mg (オプション：0.05mg ～50mg) ・段差再現性(1σ)：0.3nm以下 ・真直度精度 ：0.2µm/100mm以内 ・垂直分解能 ：0.1nm (1Å) ・Ｚ測定レンジ ：600µm ・最大測定距離 ：100mm |
