マテリアル向け原子間力顕微鏡 AFM Dimension シリーズ

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メーカー名 ブルカージャパン株式会社
製品URL https://www.bruker-nano.jp/AFM-system
計測対象物質 高分子,ポリマー,材料,半導体,電子部品,電池,データストレージ
アプリケーション 高分子,材料科学,半導体,電池材料,データストレージ,ライフサイエンス
説明 BrukerのフラッグシップAFMとなるDimensionファミリーは、その高い性能と拡張性 により材料物性研究から工業用計測用途まであらゆるアプリケーションに対応します
■ 業界最高の基本性能
・高分解能・低触圧・物性評価を可能にしたPeakForceTappingモード
・ScanAsystテクノロジーが自動的に測定パラメータを調整
・原子分解能を実現する低ノイズ・低ドリフト設計

■進化する材料物性評価
・機械特性評価
- 校正済プローブは課題であった定量性を飛躍的に向上
- 独自のPeakForceQNMによる高速弾性率マッピング
   - バルクDMAとの相関粘弾性評価を実現するAFM-nDMA

・電気特性評価
- DataCubeによる多次元スペクトル評価
- 進化した走査型マイクロインピーダンス顕微鏡(sMIM-Pro)

■多様なニーズに応える拡張性
・生産性向上に寄与するAutoMet自動測定ソフトウェア
・グローブボックスによる大気非暴露環境での測定最大・300mmウエハに対応するDimension Proシリーズ