価格 | 価格はお問い合わせください。 |
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メーカー名 | 株式会社日立ハイテク |
製品URL | https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/products/microscopes/peripheral-equipment/im4000ii.html |
計測対象物質 | 固体、材料、半導体、電池 |
アプリケーション | ミリング、加工、断面、平面 |
説明 | 日立イオンミリング装置のスタンダードモデルであるIM4000IIは、断面ミリングと平面ミリング(フラットミリング®*)に対応しています。 冷却温度調整機能や雰囲気遮断ホルダユニットなど、各種オプションにより、さまざまな試料の断面試料作製が可能です。 ◎特長 ●高ミリングレート IM4000IIは500 µm/h*1以上の断面ミリングレートを実現したイオンガンを搭載しています。 硬質材料の断面試料作製に有効です。 ● ハイブリッドタイプのミリング装置 断面ミリング*2、フラットミリング*3対応。 *1:加速電圧6 kV、マスクエッジからSiを100 µm突出させて1時間加工した際の最大深さ *2 : 割断や機械研磨では困難な柔らかい材料や複合材料の断面作製。 *3 : 機械研磨試料の最終仕上げや試料表面の清浄化。 *フラットミリング®は、日本国内における株式会社日立ハイテクの登録商標です。 |