日立イオンミリング装置 IM4000II

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メーカー名 株式会社日立ハイテク
製品URL https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/products/microscopes/peripheral-equipment/im4000ii.html
計測対象物質 固体、材料、半導体、電池
アプリケーション ミリング、加工、断面、平面
説明 日立イオンミリング装置のスタンダードモデルであるIM4000IIは、断面ミリングと平面ミリング(フラットミリング®*)に対応しています。
冷却温度調整機能や雰囲気遮断ホルダユニットなど、各種オプションにより、さまざまな試料の断面試料作製が可能です。
◎特長
●高ミリングレート
IM4000IIは500 µm/h*1以上の断面ミリングレートを実現したイオンガンを搭載しています。 硬質材料の断面試料作製に有効です。
● ハイブリッドタイプのミリング装置
 断面ミリング*2、フラットミリング*3対応。

*1:加速電圧6 kV、マスクエッジからSiを100 µm突出させて1時間加工した際の最大深さ
*2 : 割断や機械研磨では困難な柔らかい材料や複合材料の断面作製。
*3 : 機械研磨試料の最終仕上げや試料表面の清浄化。
*フラットミリング®は、日本国内における株式会社日立ハイテクの登録商標です。