製品情報

日立超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 Regulusシリーズ

価格 価格はお問い合わせください。
メーカー名 (株)日立ハイテク
製品URL https://www.hitachi-hightech.com/jp/science/products/microscopes/electron-microscope/fe-sem/regulus.html
計測対象物質 固体、材料、半導体、電池
アプリケーション 表面、観察、解析
説明 「Regulus シリーズ」は、SU8200シリーズで採用されたコールドFE電子銃を搭載し*、低ノイズの電子ビームで安定した照射電流は、観察・分析双方によりクオリティの高いデータを提供します。

観察性能は光学系の最適化により、Regulus 8240/8230/8220の分解能は1 kVで0.7 nm、Regulus 8100では0.8 nmに向上しました。

また超高分解能観察能力を十分に発揮させるため、倍率は従来の100万倍から200万倍まで拡張しました*
その他、複雑化している信号検出機能の理解を補助する機能など、高い性能を十分に使用していただくためのユーザーサポート機能も強化しています。

◎特長
 ■「SU8200シリーズ」に採用したコールドFE電子銃を継承*
 ■フラッシング直後の高輝度安定領域を使用することによる低加速電圧での高分解能観察と分析を両立
 ■コンタミネーションの影響を軽減させた高真空試料室
 ■Topフィルター機能(オプション)による、さまざまな材料コントラストの可視化機能*
*Regulus8240/8230/8220のみ