Thermo Scientific Ga+ イオン型多次元解析用デュアルビーム Scios 2

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メーカー名 サーモフィッシャーサイエンティフィックグループ 日本エフイー・アイ(株)
製品URL http://www.thermofisher.com/DualBeam
計測対象物質 各種材料、磁性材料
アプリケーション FIB、SEM、試料作製、組成情報、結晶情報
説明 アウトレンズ型でありながら低加速SEM性能を高めたFIB-SEMデュアルビームです。強磁性材料においてもFIBの加工、SEMによる高分解能観察を可能にしました。また、SEM鏡筒内に配置された3つの検出器により、FIB加工をしながら材料のモルフォロジー、組成、結晶情報を詳細に捉えることが可能です。その高い低加速SEM性能の利用により、高精度でFIB加工の終点検知が可能であり、ピンポイントのTEM試料作製にも有効です。

SEMイメージ分解能:1.4nm@1kV (最適WD, BD)
最低ダメージ処理イオンエネルギー:500V
オプション:大気非暴露試料搬送、試料冷却