製品情報
原子間力顕微鏡（AFM） NX-Wafer
| 価格 | お問い合わせください |
|---|---|
| メーカー名 | パーク・システムズ・ジャパン(株) |
| 製品URL | http://www.parksystems.co.jp |
| 計測対象物質 | |
| アプリケーション | |
| 説明 | パークシステムズのNX-Waferは、製造環境における様々なサイズのウェーハサイズに対応したウェーハ用完全自動AFM装置です。微細な表面荒さ、長距離プロファイリング、自動欠陥検査（ADR）機能に対応しています。この完全自動化に対応した産業用AFMは、クロストーク除去（XE）で生まれたアーティファクトのない計測や非接触モードによるプローブの長寿命化によるコスト削減も実現しているので、まさに理想的な自動AFMです。
・多彩なウェーハサイズに対応（～300mm径まで各種） ・クリーンルーム仕様・遠隔制御 ・自動チップ交換 ・ウェーハ自動測定のための多種のフロントエンドモジュール（EFEM） ・CMPプロファイリング用の長距離移動ステージ（オプション） ・自動欠陥検査（ADR）オプション |
