製品情報
DLTS測定装置 DLS-83D/1000
| 価格 | 10,000,000～ |
|---|---|
| メーカー名 | 日本セミラボ(株) |
| 製品URL | http://www.semilab-j.jp/products/semilab/post.html |
| 計測対象物質 | シリコン,SiC,GaN,酸化Ge,ペロブスカイト,化合物半導体,半導体、太陽電池,Si,GaAS,Ge2O3 |
| アプリケーション | シリコン基板の金属汚染を高感度で測定,深い準位,材料開発,材料分析,不純物,準位測定 |
| 説明 | DLTS(Deep Level Transient Spectroscopy)は、半導体における深い準位(トラップ)を測定可能です。 容量の過渡応答を利用して禁制帯中のエネルギーと捕獲断面積を分析。化合物、ペロブスカイト等の開発に必須 ・高感度な汚染検出が可能 （2x108atoms/cm3 ） ・幅広いクライオスタットを選択可能 ・温度、周波数スキャン、C-V特性 等の多彩な測定が可能 ・高感度アナログ／デジタルロックイン平均法を採用したユニークなシステムで、オペレーターフレンドリーなソフト を装備しています ・世界で100台以上の豊富な納入実績 |
