エネルギー分散型X線分析装置 AZtecTEM

価格 16,500,000~
メーカー名 オックスフォード・インストゥルメンツ(株)
製品URL https://nano.oxinst.jp/products/aztec/aztectem
計測対象物質 金属,セラミック,鉱物,半導体,複合材料
アプリケーション 薄片の元素マッピング,析出物の組成分析, 薄片試料の非破壊厚み計測
説明 透過電子顕微鏡(TEM)用エネルギー分散型X線分析装置(EDS)。新設計により感度が向上した大面積SDD、UltimMaxとの組み合わせで、業界初・ライブでのX線イメージングを実現。元素マップによる視野探しで分析にかかる時間を大幅に短縮。進化したドリフト補正機能AutoLockとピーク分離マップTruMap(オプション)で原子レベルの高分解能分析にも対応。独自の膜厚測定プログラムも搭載し、さらに定量精度も向上しています。

■ ソフトウェア AZtecEnergyTEM SP, AZtecEnergyTEM Standard, AZtecEnergyTEM Advanced
■ 検出器 UltimMax TLE, UltimMax TEM, Xplore TEM