SEM/FIB用ナノマニピュレータ OmniProbe

価格 32,000,000~
メーカー名 オックスフォード・インストゥルメンツ(株)
製品URL https://nano.oxinst.jp/products/nanomanipulation/
計測対象物質 金属,セラミック,複合材料,半導体
アプリケーション TEM用薄膜試料作製,EBIC,EBAC,電気プロービング,リフトアウト,オンチップ分析
説明 OmniProbeは、ポート取り付け式のナノマニピュレータ。PCインタフェースからの操作が可能です。使用する時は挿入、使用しない時は邪魔にならないよう簡単に引き出し(リトラクト)ができます。チップの交換は真空中チャンバー内で実施でき、ピエゾモーター搭載で精細な動作にも対応します。ステージ傾動やアクセサリの付け替えなどと合わせて、顕微鏡の多彩な機能をフルに引き出します。ユニークな技術が組み込まれたOmniProbeナノマニピュレータは3Dマニピュレーション操作をサポートし、より簡単に顕微鏡による観察作業ができます。

アプリケーション例:
■ 被覆されていない絶縁試料上の高電荷領域の中和
■ ナノ構造部(EBIC、EBAC、電気プロービング)の電気的パラメータの測定
■ FIBで使用する場合の平面および背面ミリングのためのリフトアウト操作
■ TEMおよびSEMで使用する場合のナノワイヤサンプルに対する電子プローブ操作
■ TEM、EDS、その他解析用の高品質サンプルの製作
■ 凍結サンプルのリフトアウト操作