製品情報

日立ショットキー形走査電子顕微鏡 SU5000

価格 価格はお問い合わせください。
メーカー名 (株)日立ハイテク
製品URL https://www.hitachi-hightech.com/jp/science/products/microscopes/electron-microscope/fe-sem/su5000.html
計測対象物質 固体
アプリケーション 観察、分析
説明 SU5000 & EM Wizard が創造するF E- S EM の新たな世界。
SEMが初めての方でも「美しい像が得られる体験」。
その後、ひとりで習熟、熟達する「成功体験」。熟達した方にも豊富な機能で「新たな体験」を提供。EM Wizard はさまざまな“User Experience”を提供し、 新たなSEM の楽しさ、面白さを拓きます。

SEM観察ではどんな「情報」が必要かに応じて「条件」を検討・設定して観察を行っていました。「目的選択」機能では欲しい情報を仮想イメージとして図示し、その条件で強調される信号をレーダーチャートで表示します。 「条件」を意識せず、仮想イメージが表す=「目的」を選択すればSU5000が最適SEM条件を自動的に設定します。
SU5000とEM WizardがFE-SEMの新しい使い方を提案します。

*目的選択:特許第5416319号、意匠登録第1491769号

≪仕様≫
●保証分解能
1.2 nm保証(加速電圧30 kV、WD=5 mm、観察倍率18 万倍)
3.0 nm保証(加速電圧 1 kV、WD=3 mm、観察倍率8 万倍)
2.0 nm保証(照射電圧 1 kV、WD=3 mm、観察倍率12 万倍 :リターディングモード*オプション1
3.0 nm保証(加速電圧 15 kV、WD=5 mm、観察倍率8 万倍 :低真空モード*オプション2
●倍率
写真倍率:10~600,000 倍
モニター表示倍率:18~1,000,000 倍(800×600画素)
            30~1,500,000 倍(1,280×960画素)
●検出器
高真空用シンチレータ/ホトマルチプライヤー二次電子検出器(Lower検出器)