製品情報

紫外可視近赤外分光光度計 SolidSpec-3700i/3700i DUV

価格 ¥7,350,000/¥9,980,000(PC含まず)
メーカー名 (株)島津製作所
製品URL https://www.an.shimadzu.co.jp/uv/solidspec/solid1.htm
計測対象物質 大型試料,固体,シリコンウェハー,ガラス,レンズ
アプリケーション 膜厚,深紫外,近赤外
説明 積分球を標準搭載した紫外可視近赤外分光光度計です。光電子倍増管(PMT)、 InGaAs、冷却PbSの3検出器を搭載しており、特に近赤外領域では世界最高レベルの高感度を実現しました。大形試料室を採用しており多様な試料に対応することができます(最大で700×560 mmの試料を水平置きでセットし測定することが可能)。オプションのオートXYステージを使用すると、窒素パージした状態で最大310×310 mm試料の多点自動測定も可能です。
装置を制御するLabSolutions UV-Visソフトウェアは標準同梱。DUVモデルは深紫外仕様(175 nm~)となります。