価格 | ¥8,450,000/¥11,480,000(PC含まず) |
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メーカー名 | (株)島津製作所 |
製品URL | https://www.an.shimadzu.co.jp/uv/solidspec/solid1.htm |
計測対象物質 | 大型試料,固体,シリコンウェハー,ガラス,レンズ |
アプリケーション | 膜厚,深紫外,近赤外 |
説明 | 積分球を標準搭載した紫外可視近赤外分光光度計です。光電子倍増管(PMT)、InGaAs、冷却PbSの3検出器を搭載しており、特に近赤外領域では世界最高レベルの高感度を実現しました。大形試料室を採用しており多様な試料に対応することができます(最大で700×560mmの試料を水平置きでセットし測定することが可能)。オプションのオートXYステージを使用すると、窒素パージした状態で最大310×310 mm試料の多点自動測定も可能です。 装置を制御するLabSolutions UV-Visソフトウェアは標準同梱。DUVモデルは深紫外仕様(175 nm ~)となります。 |