Web分析総覧/JAIMA

価格	￥8,450,000／￥11,480,000（PC含まず）
メーカー名	(株)島津製作所
製品URL	https://www.an.shimadzu.co.jp/uv/solidspec/solid1.htm
計測対象物質	大型試料,固体,シリコンウェハー,ガラス,レンズ
アプリケーション	膜厚,深紫外,近赤外
説明	積分球を標準搭載した紫外可視近赤外分光光度計です。光電子倍増管（PMT）、InGaAs、冷却PbSの3検出器を搭載しており、特に近赤外領域では世界最高レベルの高感度を実現しました。大形試料室を採用しており多様な試料に対応することができます（最大で700×560mmの試料を水平置きでセットし測定することが可能）。オプションのオートXYステージを使用すると、窒素パージした状態で最大310×310 mm試料の多点自動測定も可能です。装置を制御するLabSolutions UV-Visソフトウェアは標準同梱。DUVモデルは深紫外仕様（175 nm ～）となります。