走査型X線光電子分光分析装置 PHI QuanteraⅡ

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メーカー名 アルバック・ファイ(株)
製品URL https://www.ulvac-phi.com/ja/products/
計測対象物質
アプリケーション
説明  当社独自のビーム走査型マイクロフォーカスX線源(特許)をさらに高精度化、世界最小のAlKαX線ビーム(7.5μm)による分析が可能です。X線励起二次電子像(SXI)により、正確な分析位置の特定・確認が短時間で行えます。さらに高感度インプットレンズ、32チャンネル検出器の採用により世界最高の微小XPS感度を実現、微小から大面積までの高い分析スループットが得られます。
 また、フローティングイオン銃による高分解能深さ方向分析、及び低速電子銃併用による自動帯電中和(特許)であらゆる試料に対応します。測定の完全自動化と高い稼働率を実現、高い評価を得ている最高性能XPS装置です。