製品情報
低濃度ジルコニア式酸素濃度計 OX400
| 価格 | お問い合わせ下さい |
|---|---|
| メーカー名 | 横河電機(株) |
| 製品URL | http://www.yokogawa.co.jp/an/oxy-gas/an-ox400-001ja.htm |
| 計測対象物質 | 酸素,O2 |
| アプリケーション | ガス中の酸素濃度を測定 |
| 説明 | 低濃度ジルコニア式酸素濃度計 OX400は、酸素濃度計の長年の経験と実績をもとに0-10ppmの低濃度から0-100vol%まで一台で測定できる高精度・高信頼性の酸素濃度計です。 センサは横河電機独自の薄膜形成法を採用し、ジルコニア素子と白金が分子的に結合するため剥離がなく、高速応答で長寿命の小型・高信頼性ジルコニアセンサです。 半導体の拡散炉、乾燥炉、液晶製造プロセスにおける酸素濃度管理、ハンダ槽フロー・リフロー炉、グローブボックス、ガス製造プロセスにおける酸素濃度管理、粉体移送の粉塵爆発対策用酸素濃度測定等に使用できます。 【主な仕様】 ・測定対象ガス：不活性ガス中の酸素濃度(シリコン、可燃性ガス、腐食性ガス、毒性ガスを除く） ・測定原理：ジルコニア式 ・サンプリング方式：ポンプまたはアスピレータまたは吸引装置なし から選択 ・測定ガス条件：流量；200±25ml/min、 温度：0-50℃（結露しないこと）、 ガス圧力；0-300PaG ・測定範囲：0-10ppm～0-100vol% ・外部出力：2点、4-20mADCおよび0-1/0-5/0-10VDCから1つ選択 ・接点出力：警報出力2点、レンジマーカ出力1点、マルチセレクタ ・接点入力：1点、ポンプON/OFF ・通信：RS-232 ・校正：①3点校正(10、100ppm、Air) ②2点校正 ③1点校正 ④Air校正 ・電源：100-120VAC/220-240VAC、50/60Hz ・外形寸法：213W×132H×約375Dmm ・繰返し性：±1%FS ・直線性：±2%FS ・応答性(90%応答)：10秒以内(0-1vol%以上) ・ドリフト：±2%FS/週 |
