製品情報

CSI社SPM(広帯域C-AFM, シングルパスKFM)

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メーカー名 (株)日本レーザー
製品URL https://www.japanlaser.co.jp/product/csinstruments_nano-observer/
計測対象物質 エレクトロニクス,マテリアル
アプリケーション 抵抗値/電流値マッピング,KFM
説明 レジスコープは、高感度と高分解能で10桁以上の抵抗値/電流値を測定できるユニークなSPMシステムです。
また、インターミッテントコンタクトモードと組み合わせることにより、柔らかい材料の抵抗値/電流値マッピングを行うことが可能であるため、有機太陽電池等の表面研究に有効なツールです。

HD-KFM (高精細・シングルパスKFM)
CSIによって開発されたHD-KFMは、カンチレバーの第2の振動モードを用いてフィードバック制御を行うという利点があります。シングルパスKFMを実現しています。表面ポテンシャルによって生成される電場をより近接したプローブで検出することを可能にしています。従来の方法に比べ、抜群の空間分解能を達成しています。ごく微小エリア、または二次元材料の表面電位マッピングに最適です。どちらの機能も4インチウエハを割らずに測定できます。