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グロー放電質量分析計 Astrum
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メーカー名 アメテック(株)
製品URL http://www.cameca.jp/product/gd-ms/astrum/
計測対象物質 金属,半導体,絶縁物
アプリケーション 固体試料の直接分析,固体中の主成分組成から微量不純物までの一斉分析
説明 導体・半導体の固体試料中の、75以上の元素を主成分から超微量成分まで一斉分析します。標準物質が無くても定量的な分析値が得られ、薄膜分析や深さ方向分析、絶縁性試料への応用も可能です。

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