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製品情報

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非接触3次元表面形状測定システム プロフィルム3D Profilm 3D
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メーカー名 フィルメトリクス(株)
製品URL http://www.filmetrics.co.jp
計測対象物質 膜厚, 段差,表面形状,粗さ,測長,膜表面,基板表面,MEMS,ウエハー,パターン
アプリケーション 半導体,フラットパネル,フィルム,光学コーティング,医療用製品,
説明 フィルメトリクスのプロフィルム3Dは、白色干渉の原理を用いた、非接触3次元表面形状測定システムです。
垂直走査白色干渉法VSIと位相シフト干渉法PSIを組み合わせ、ナノからミリメートルまでの表面形状や段差、粗さを測定できます。
干渉用の対物レンズをスキャンすることで干渉縞が現れる面の高さを捉え、膜のあるところとないところの段差や表面形状をエリアで測定することができます。
例えば10倍レンズ使用時の視野は2mm角と、1度に大きいエリアを短時間で測定できます。デジタルズームを併用することでレンズを変えずに測定エリアを拡大・縮小することができるため、様々なアプリケーションに対応します。標準装備のXY自動ステージを使用してスティッチングでつなぎ合わせれば、さらに大きいエリアが測定できます。
ソフトウエアはシンプルで操作も容易、マウスをクリックするだけで誰でも簡単にサンプルの表面形状が測定可能です。
データは3D表示、プロファイル表示、統計値データ表示、測長機能もあります。
光学系とPCで構成されたシステムは、コンパクトなフットプリント。軽量で設置も容易で場所を取りません。
既知の段差サンプルも標準で付属しています。

・光を透過しない膜の厚さを簡単に高速で測定
・ナノからミリメートルまでの段差や表面形状を測定可能
・10倍レンズで2mm角の視野、デジタルズーム4倍
・3次元カラー表示、プロファイル表示、粗さ・統計値表示
・各種倍率対物レンズに対応、レボルバー使用可
・自動XYステージ付、スティッチングオプション有
・コンパクトなフットプリント、シンプルな構成
・既知の段差標準サンプル付属
・高い操作性、高精度、低価格

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