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走査型デュアルX線光電子分光分析装置 PHI Quantes
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メーカー名 アルバック・ファイ(株)
製品URL https://www.ulvac-phi.com/ja/products/xps/quantes/
計測対象物質
アプリケーション
説明 PHI Quantesは、エネルギーの異なる硬X線(Cr Kα線)と従来の軟X線(Al Kα線)の2線源を搭載し、微小領域から大面積まで高感度な分析を提供します。2種類のX線源は自動で容易に切り替えることができ、試料の同一箇所を分析することが可能です。
これまで培ってきたPHI Quantera IIのコア技術を搭載、自動分析・自動搬送・ターンキー帯電中和補正・高度なデータ処理機能を利用することができます。
これまでの常識を超える新しい応用分野を切り開くXPSです。

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