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製品情報

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高速分光エリプソメーター PHI QuickSEシリーズ
価格 7,500,000~
メーカー名 アルバック・ファイ(株)
製品URL https://www.ulvac-phi.com/ja/products/ellipsometly/quickse/
計測対象物質 透明膜,半透明膜,半導体,太陽電池,ポリマー,ディスプレイ,ストレージ,光学薄膜,SiO2,TiO2,Al2O3,ITO
アプリケーション 膜厚測定,多層膜,光学コーティング,太陽電池,半導体,ディスプレイ
説明 独自なスナップショット方式により、最速20 msの高速測定とコンパクト化を実現しました。 軽量・小型で容易に持ち運べる「PHI QuickSE-Portable」の他、自動マッピングが可能な自動ステージタイプも各種ご用意しています。 「PHI QuickSE-Portable」には、簡易型固定ステージが付属していますが、測定器本体をステージから取り外すことでステージサイズを超える大きな試料にも対応するユニークな仕様です。 自動ステージタイプは、150㎜、200㎜、300㎜の試料に対応する3機種があり、自動R-θステージとオートフォーカス機能を標準搭載しているほか、自動高速マッピングが可能です。

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