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分光エリプソメータ UVISEL 2
価格 36,000,000~
メーカー名 (株)堀場製作所
製品URL http://www-origin.horiba.com/jp/scientific/products-jp/ellipsometers/thin-film-metrology/details/uvisel-2-scientific-spectroscopic-ellipsometer-16101/
計測対象物質 太陽電池,半導体,フラットパネルディスプレイ,光エレクトロニクス,光学コーティング,機能性コーティング,表面化学/表面改質,バイオテクノロジー,薄膜,屈折率,NK,エリプソ
アプリケーション 太陽電池,半導体,フラットパネルディスプレイ,光エレクトロニクス,光学コーティング,機能性コーティング,表面化学/表面改質,バイオテクノロジー
説明 既知の材料や新規材料の薄膜評価用に多くの自動化機能を搭載。様々なアプリケーションに対応できます。試料ビジョンシステム(特許取得済)を標準搭載。本システムは、スポットサイズ電動切替機能と一緒に使用することにより、測定試料の希望エリア上への測定スポット位置合わせをより正確に実現。微小スポット(標準入射にて最小35μm)を標準搭載しています。アクロマートミラーベースの光学系により、紫外-可視の幅広い波長域をカバーでき、微小領域の測定に非常に有効です。シンプルな操作からハイエンドな測定まで対応できるソフトウェアDeltaPsi2を標準付属しています。

スポットサイズ 8種類(最小35μm × 85μm@70°)
波長範囲:190nm~1000nm(~2100nmまで拡張可)
測定膜厚範囲:1Å~80um(膜種、構造によって異なります)

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