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製品情報

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エネルギー分散型X線分析装置 AZtecTEM
価格 19,000,000~
メーカー名 オックスフォード・インストゥルメンツ(株)
製品URL http://www.oxford-instruments.jp/aztectem
計測対象物質 金属,セラミック,鉱物,複合材料
アプリケーション 薄膜の元素マッピング,析出物の組成分析, 薄膜試料の非破壊厚み携速
説明 透過型電子顕微鏡(TEM)用エネルギー分散型X線分析装置(EDS)です。新設計により感度が向上した大面積SDD、UltimMaxとの組み合わせで、業界初・ライブでのX線イメージングを実現。元素マップによる視野探しで分析にかかる時間を大幅に短縮します。進化したドリフト補正機能AutoLock(オプション)とピーク分離マップTruMap(オプション)で原子レベルの高分解能分析にも対応します。独自の膜厚測定プログラムも搭載し、さらに定量精度も向上しています。

■ ソフトウェア AZtec TEM SP, AZtec TEM Standard, AZtec TEM Advanced
■ 検出器 UltimMax TLE, UltimMax TEM, Xplore TEM

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