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自動走査型X線光電子分光分析装置 PHI X-tool
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メーカー名 アルバック・ファイ(株)
製品URL https://www.ulvac-phi.com/ja/products/xps/phi-x-tool/
計測対象物質
アプリケーション
説明  タッチパネル操作と日本語ソフトウェアを採用した全自動走査型XPS分析装置です。測定位置と測定条件をタッチで指定するだけで、初めてのユーザーでも最高クラスのモノクロXPS測定を簡単に行うことができます。
 XPS測定の操作は最短3ステップで完了、定性、定量、カーブフィットから日本語レポート作成まで、すべて自動で実現します。また、イオンエッチングによる深さ方向分析、ビームスキャンによる面分析など、高度な分析にも対応します。

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