製品情報
薄膜材料結晶性解析X線回折装置 X'Pert3 MRDシリーズ
| 価格 | 20,000,000～40,000,000 |
|---|---|
| メーカー名 | マルバーン・パナリティカル（スペクトリス株式会社） |
| 製品URL | http://www.panalytical.jp/XPert3-MRD-XL.htm |
| 計測対象物質 | 化合物半導体, LED,レーザー,薄膜,酸化物,メタル,配向膜,単結晶基盤, MQW構造,シリコンデバイス,応力 |
| アプリケーション | 結晶配向・方位測定（極点図）,XRC測定,格子定数解析,エピタキシャル薄膜の組成・膜厚・MQW構造解析,膜厚・膜周期構造・ラフネス・密度測定,粉末試料の相の同定,格子歪・残留応力・結晶子サイズ測定 |
| 説明 | 薄膜試料（化合物半導体薄膜、酸化物薄膜、金属薄膜）、バルク試料まで、多様な結晶構造、薄膜の層構造解析用で500台以上稼動実績を誇る業界スタンダード機種。 【特長】 ・PreFIXインターフェイスにより、10種類以上の光学系を容易に切り替えて多目的な測定解析を実現 ・高速検出器エクセラレータ、新光学系ミラーにより、XRC、逆格子マッピング測定を一桁高速化 ・X線レンズにより高密度平行ビーム光学系が得られ、極点図、ストレス測定のSNを向上 ・遺伝的アルゴリズムにより、反射率解析の高精度化、自動化を実現 【アプリケーション】 ・結晶配向、方位測定（極点図） ・高分解能モノクロメータ光学系によるXRC測定 ・高分解能逆格子空間マッピング測定による格子定数、歪みの解析 ・エピタキシャル薄膜の組成、膜厚、MQW構造解析 ・膜厚、膜周期構造、ラフネス、密度（X線反射率測定） ・粉末試料の相の同定 ・格子歪、残留応力 ・結晶子サイズ測定 ・温度依存相変化 |
