WEB分析総覧

WEB分析総覧とは WEB分析総覧の掲載案内 分析機器の手引き English JAIMA
HOME 製品分類から探す メーカー名から探す

製品情報

 WEB分析総覧HOME > マルバーン・パナリティカル(スペクトリス株式会社) > 製品情報
薄膜材料結晶性解析X線回折装置 X'Pert3 MRDシリーズ
価格 20,000,000~40,000,000
メーカー名 マルバーン・パナリティカル(スペクトリス株式会社)
製品URL http://www.panalytical.jp/XPert3-MRD-XL.htm
計測対象物質 化合物半導体, LED,レーザー,薄膜,酸化物,メタル,配向膜,単結晶基盤, MQW構造,シリコンデバイス,応力
アプリケーション 結晶配向・方位測定(極点図),XRC測定,格子定数解析,エピタキシャル薄膜の組成・膜厚・MQW構造解析,膜厚・膜周期構造・ラフネス・密度測定,粉末試料の相の同定,格子歪・残留応力・結晶子サイズ測定
説明 薄膜試料(化合物半導体薄膜、酸化物薄膜、金属薄膜)、バルク試料まで、多様な結晶構造、薄膜の層構造解析用で500台以上稼動実績を誇る業界スタンダード機種。

【特長】
・PreFIXインターフェイスにより、10種類以上の光学系を容易に切り替えて多目的な測定解析を実現
・高速検出器エクセラレータ、新光学系ミラーにより、XRC、逆格子マッピング測定を一桁高速化
・X線レンズにより高密度平行ビーム光学系が得られ、極点図、ストレス測定のSNを向上
・遺伝的アルゴリズムにより、反射率解析の高精度化、自動化を実現

【アプリケーション】
・結晶配向、方位測定(極点図)
・高分解能モノクロメータ光学系によるXRC測定
・高分解能逆格子空間マッピング測定による格子定数、歪みの解析
・エピタキシャル薄膜の組成、膜厚、MQW構造解析
・膜厚、膜周期構造、ラフネス、密度(X線反射率測定)
・粉末試料の相の同定
・格子歪、残留応力
・結晶子サイズ測定
・温度依存相変化

印刷する
     
 
このページのトップへ
 
JAIMAへのお問い合わせ プライバシーポリシー 掲載会社専用ページへ
一般社団法人 日本分析機器工業会 Copyright © JAIMA All Rights Reserved.
日本分析機器工業会ホームページ