エネルギー分散型X線分析装置 AZtecLive/UltimExtreme

価格 30,000,000~
メーカー名 オックスフォード・インストゥルメンツ(株)
製品URL https://nano.oxinst.jp/ultim-extreme
計測対象物質 金属,セラミック,鉱物,半導体,複合材料,Li,リチウム
アプリケーション ナノスケールの微小領域の元素分析.Liなど軽元素の検出
説明 AZtecLive/UltimExtremeは走査電子顕微鏡(SEM)用エネルギー分散型X線分析装置(EDS)。SEM用ウインドウレス・大面積SDD、UltimExtremeで、従来のSEM-EDSの常識を超えた10nmを切る空間分解能を実現します。
ウインドウレス技術で低エネルギーX線の感度を増大。Liを含む軽元素および低エネルギーピークの検出・解析ができます。SDD先端部の特殊設計により立体角を拡大、ナノ領域からの微小なX線信号も効率よく収集。
ウインドウつきのUltimMax検出器との同時搭載・切り替えにより、幅広い分析条件でのEDS分析にも対応します。

■ ソフトウェア AZtecLive Standard, AZtecLive Advanced, AZtecLive Expert
■ 検出器 UltimExtreme