WEB分析総覧

WEB分析総覧とは WEB分析総覧の掲載案内 分析機器の手引き English JAIMA
HOME 製品分類から探す メーカー名から探す

製品情報

 WEB分析総覧HOME > (株)日立ハイテクノロジーズ > 製品情報
日立FIB-SEM複合装置 FIB-SEM-Ar/Xeトリプルビーム装置 NX2000
価格 価格はお問い合わせください。
メーカー名 (株)日立ハイテクノロジーズ
製品URL http://www.hitachi-hightech.com/jp/product_detail/?pn=em-nx2000
計測対象物質 有機・高分子、半導体エレクトロニクス、電子部品、金属、ストレージ、セラミック、マグネティックス、誘電体、有機エレクトロニクス、医薬品、化粧品、食品、鉄鋼、非鉄、鉱業、電池
アプリケーション 高品位TEM試料作製,高精細Cut & Seeによる3D解析,3Dアトムプローブ試料作製,走査型プローブ顕微鏡(SSRM/SNDM)用試料作製,レジストサンプルの形状評価
説明 究極のTEM試料作製ツールをめざして
最先端デバイスや高機能ナノ材料の評価・解析において、FIB-SEMはなくてはならないツールとなっています。近年では、対象構造の微細化に伴い、より薄く、試料加工時のアーティファクトを避けた、TEM薄膜試料作製へのニーズが高まっています。日立ハイテクでは、定評ある高性能FIB技術と高分解能SEM技術に、姿勢制御とトリプルビーム®を組み合せたNX2000を開発しました。高品位TEM試料作製の高スループット化を通して、研究・開発のお役に立てれば幸いです。

≪特長≫
●高輝度・コンスタントCold FE電子銃を搭載した高コントラスト・高分解能SEM
●FIB加工時、Ar/Xeイオンビーム加工時ともに、装置条件の変更無しに終点検知が可能なリアルタイムSEM観察機能
●プローブ回転機構を加えて進化したマイクロサンプリング
●各種デポジションや増速・選択エッチングにも対応するマルチガス供給システム®システム
●最適なビーム入射角と高スループット薄膜試料作製を実現する高精度・高速試料微動機構
●8インチウエーハなど大きな試料にも対応する大型試料室 & 200 mmステージ
●複数試料の最終仕上げ加工まで、自動で実施できる連続TEM試料自動加工機能

≪仕様≫
分解能:4 nm @ 30 kV、60 nm @ 2 kV
加速電圧:0.5 kV ~ 30 kV
ビーム電流:0.05 pA ~ 100 nA
最大ビーム電流密度:54 A/cm2
可動絞り:15段電動
最小Dwell time:10 ns

印刷する
     
 
このページのトップへ
 
JAIMAへのお問い合わせ プライバシーポリシー 掲載会社専用ページへ
一般社団法人 日本分析機器工業会 Copyright © JAIMA All Rights Reserved.
日本分析機器工業会ホームページ