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製品情報

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テラヘルツフーリエ変換分光光度計 FARIS-1
価格 価格は別途お問い合せください。
メーカー名 日本分光(株)
製品URL http://www.jasco.co.jp/
計測対象物質 半導体,セラミックス,誘電体,医薬品,生体関連物質,高分子,化学物質
アプリケーション エミッション,定性,定量,キャリア密度評価,大気中の水蒸気測定
説明 100GHz〜10THzの領域にはテクノロジーギャップが存在し、この領域の電磁波技術が注目されています。FARIS-1は、高波数側で高効率なマイケルソン型と低波数側で高効率なマーチン・パプレット型の混成型フーリエ変換分光光度計です。
応用例 ▶半導体ウェーハの電気および光学的特性 ▶比較的表面の粗い膜の厚み ▶半導体ウェーハおよび膜の結晶構造など
波数範囲:650〜2cm-1(検出器により変わります) 最高分解:0.25cm-1 干渉計:連続走査型45°入射マイケルソン干渉計 ルーフトップミラー使用 マーチンパプレット型(オプション) 光源:水冷高圧水銀光源

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