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製品情報

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複合ビーム加工観察装置 JIB-4700F
価格 価格は別途お問い合わせください
メーカー名 日本電子(株)
製品URL http://www.jeol.co.jp/products/detail/JIB-4700F.html
計測対象物質 金属材料、鉱石、プラスチック、フィルタ、半導体(前・後工程)、先端材料、液晶、固体
アプリケーション FIB加工、TEM/SEM用試料作製、SIM像観察、冷却加工、三次元測定、EDS、EBSD
説明 JIB-4700Fは、SEM鏡筒にハイブリッドコニカル対物レンズ、ジェントルビームモード (GBモード)、インレンズ検出器システムを搭載し、1kVの低加速電圧で保証分解能1.6nmを実現しました。FIB鏡筒は、最大照射電流90nAの高電流密度Gaイオンビームを採用し、試料を高速に加工します。FIBによる高速断面加工後の高分解能SEM観察や、EDS(エネルギー分散型X線分析装置)、EBSD(結晶方位解析システム)などの各種分析装置による高速分析が可能です。また、自動的に一定の間隔で断面加工を行いながらSEM像取得を行う三次元解析機能も標準搭載しています。

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