Web分析総覧/JAIMA

価格	価格は別途お問い合わせください
メーカー名	日本電子(株)
製品URL	https://www.jeol.co.jp/products/scientific/fib/JIB-4700F.html
計測対象物質	金属材料,鉱石,プラスチック,フィルタ,半導体,先端材料,液晶,固体
アプリケーション	FIB加工,TEM用試料作製,SEM/SIM像観察,三次元測定
説明	SEM鏡筒にハイブリッドコニカル対物レンズ、GENTLEBEAM^TMモード、インレンズ検出器システムを搭載し、1 kVの低加速電圧で保証分解能1.6nmを実現しました。最大照射電流300nAの電子ビームを得られる「インレンズショットキー電子銃」との組み合わせで、高分解能観察と高速分析が可能です。 FIB鏡筒は、最大照射電流90nAの高電流密度Gaイオンビームを採用し、試料を高速に加工します。 FIBによる高速断面加工後の高分解能SEM観察や、EDS、EBSDなどの各種分析装置による高速分析が可能です。また、自動的に一定の間隔で断面加工を行いながらSEM像取得を行う三次元解析機能も標準搭載しています。