価格 | 価格はお問い合わせください |
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メーカー名 | サーモフィッシャーサイエンティフィックグループ 日本エフイー・アイ(株) |
製品URL | http://www.thermofisher.com/DualBeam |
計測対象物質 | 生体試料, 半導体, 各種材料, 先端材料 |
アプリケーション | FIB加工, SEM観察, STEM観察, 3次元解析, ナノプロトタイピング |
説明 | 圧倒的シェアと歴史を持つFIB-SEMであるThermo Scientific™ Helios™ シリーズは、Ga+ イオンFIBの加工精度、そしてそのプロセスをモニタリングするSEM性能を世界最高水準に高めた高性能DualBeamシステムです。TEM観察試料やアトムプローブの試料作製工程を完全自動化させることも可能になりました。また、Ga+イオンカラムに代わり、プラズマイオンカラムを搭載した全く新しい高速処理型高性能FIB-SEM デュアルビームも選択可能です。イオン源としてXe+ のみ使用のタイプと、Xe+ 、Ar+ 、N+ 、O+ の4種を1台のカラムに搭載し、スイッチングして使用するタイプがあります。Ga+ に比べて40倍以上の電流が利用でき、広域の断面観察や三次元観察、そしてTEM試料作製に有効です。ミリメートルオーダーでの加工が可能なフェムト秒レーザーも搭載可能です。 |