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製品情報

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走査型X線光電子分光分析装置 PHI 5000 VersaProbeⅢ
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メーカー名 アルバック・ファイ(株)
製品URL https://www.ulvac-phi.com/ja/products/
計測対象物質
アプリケーション
説明  実績のある走査型マイクロフォーカスX線源(特許)並びに絶縁物を容易に測定できる自動帯電中和(特許)を備えたラボ型表面分析装置です。
微小領域での高感度分析に加え、非破壊で薄膜深さ方向分析ができる角度依存測定、低速から高速までのスパッタ深さ方向分析を可能にするスパッタイオン銃、スパッタ時の表面荒れを防止する試料回転機構、5軸自動ステージを標準で装備しています。
 また、ガスクラスターイオン銃、C60イオン銃をはじめ、UPS、オージェ、試料加熱冷却、ガス反応セルなど豊富なオプションを組み合わせることで様々な材料の研究開発に対応することができます。

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