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走査型オージェ電子分光分析装置　PHI 4800

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メーカー名	アルバック・ファイ(株)
製品URL	https://www.ulvac-phi.com/ja/products/
計測対象物質
アプリケーション
説明	高感度・高スループットを実現した最新の走査型オージェ電子分光分析装置です。世界最高感度の達成により、低損傷測定、低電流絶縁物測定、高エネルギー分解能化学状態分析を高いレベルで可能にします。　また、自動分析の使い易さに定評のあるソフトウェア（SmartSoft, MultiPak）により、材料微小部・薄膜深さ方向分析を強力にサポートします。