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製品情報

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走査型オージェ電子分光分析装置 PHI 4800
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メーカー名 アルバック・ファイ(株)
製品URL https://www.ulvac-phi.com/ja/products/
計測対象物質
アプリケーション
説明  高感度・高スループットを実現した最新の走査型オージェ電子分光分析装置です。世界最高感度の達成により、低損傷測定、低電流絶縁物測定、高エネルギー分解能化学状態分析を高いレベルで可能にします。
 また、自動分析の使い易さに定評のあるソフトウェア(SmartSoft, MultiPak)により、材料微小部・薄膜深さ方向分析を強力にサポートします。

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