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製品情報

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飛行時間型二次イオン質量分析装置 PHI nanoTOFⅡ
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メーカー名 アルバック・ファイ(株)
製品URL https://www.ulvac-phi.com/ja/products/tof-sims/nanotof2/
計測対象物質
アプリケーション
説明  イオン透過特性に優れたトリプルフォーカス静電アナライザ、イオンビーム光学系による高質量・高空間分解能測定が可能なTOF-SIMSです。
 新たに開発した「パラレルイメージングMS/MS」オプションを搭載することで、最表面のタンデム質量分析をスタティックな条件下で高速かつ高感度で実現します。
 また、ガスクラスターイオン銃をはじめ、最大4種類のイオン銃を試料・目的に応じた最適な組合せで搭載することができます。
 さらにコンピュータ制御による自動5軸ステージ、自動高さ調整機能により、複雑な形状を持つ試料のハンドリングや、最適分析位置の設定も容易に行なうことができます。

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