飛行時間型二次イオン質量分析装置 PHI nanoTOF 3+

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メーカー名 アルバック・ファイ(株)
製品URL https://www.ulvac-phi.com/ja/products/
計測対象物質
アプリケーション
説明  イオン透過特性に優れたトリプルフォーカス静電アナライザー(TRIFT型アナライザー)を継承しつつ、当社XPSで実績のある試料搬送機構を採用、またユニークなイオンビームテクノロジーによる完全ターンキー帯電中和が可能です。絶縁物多試料の連続無人測定を、低ノイズかつ高感度で実現します。さらに、「パラレルイメージングMS/MS」やガスクラスターイオン銃など、目的に応じて多彩なオプションを選択可能な最新鋭のTOF-SIMSです。

【多彩なオプション】
パラレルイメージングMS/MS、アルゴンガスクラスターイオン銃、C60イオン銃、セシウムイオン銃、アルゴン/酸素スパッタイオン銃、試料冷却・加熱機構、試料高温加熱機構、トランスファーベッセル、酸素リーク機構、FIB(Focused Ion Beam)専用銃、FIBソフトウェア、前処理室、各種特殊ホルダー、オフラインデータ処理システム、Static SIMS Library ほか